Un alt lucru este metoda de fază Gas -, depunerea de vapori chimici (CAV), cunoscută și sub denumirea de metoda pirolizei, metoda uscată sau metoda de combustie. Materiile prime sunt, în general, tetraclorură de siliciu, oxigen (sau aer) și hidrogen, care reacționează la temperaturi ridicate.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. Aerul și hidrogenul sunt, respectiv, supuse presurizării, separării, răcirii și deshidratării, uscarea silicagelului, îndepărtarea prafului și filtrarea înainte de a fi trimise în cuptorul de hidroliză sintetică. După ce materiile prime a tetraclorurii de siliciu este trimisă în coloana de distilare pentru distilare, aceasta este încălzită și evaporată în evaporator, apoi este trimisă la cuptorul de hidroliză sintetică cu aer uscat și filtrat ca purtător. Tetraclorura de siliciu este vaporizată la temperaturi ridicate (temperatura flăcării 1000 - 1800 grade) și apoi suferă gaz - hidroliză de fază cu o anumită cantitate de hidrogen și oxigen (sau aer) la aproximativ 1800 grade. În acest moment, particulele de silice în fază de gaz generată sunt extrem de fine și formează aerosoli cu gaze, care sunt dificil de capturat.
Prin urmare, ele sunt mai întâi agregate în particule mai mari într -un agregator, apoi colectate de un separator de cicloni și trimise la un cuptor de deiacidificare. Silica de fază -} este spălată cu azot - care conține aer până când valoarea pH -ului este de 4 până la 6, care este produsul finit