În general, există două procese de tratament pentru gaze reziduale în industria petrolului din silicon
RTO combustie termică regenerativăşiMetoda de pulverizare + adsorbția de carbon activată. Dispozitivul de tratare a gazelor de evacuare include un separator de gaze-lichid, un condensator adânc, un turn de spălare acid, un turn de spălare alcalin, un filtru uscat, un cuptor cu combustie catalitică RTO și un horn de evacuare.